近日，東方晶源首臺8英寸關(guān)鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)出機國內(nèi)知名集成電路制造和整體方案提供商燕東微電子。自2021年6月首臺12英寸CD-SEM出機，時隔短短9個月，東方晶源在電子束量測領(lǐng)域再次取得重大進(jìn)展，彰顯出深厚的技術(shù)實力、豐富的市場化經(jīng)驗以及快速的研發(fā)能力。此次出機，將進(jìn)一步夯實東方晶源在國內(nèi)電子束檢測、量測市場的領(lǐng)先地位。

東方晶源首臺8英寸關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備(型號：SEpA-c300)基于東方晶源12英寸關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備的技術(shù)積累，面向90nm以上技術(shù)節(jié)點的成熟工藝。具有對標(biāo)12英寸主流設(shè)備的成像分辨率、百微米級大視場成像能力、多樣化量測算法，可以滿足客戶對不同產(chǎn)品線、多種應(yīng)用場景下的量測需求。進(jìn)駐燕東微電子后，將通過實際產(chǎn)線驗證，進(jìn)一步提升、完善設(shè)備性能，助力客戶提供更具競爭力的產(chǎn)品，提高服務(wù)能力。

近年來，受下游需求影響，8英寸晶圓代工廠產(chǎn)能持續(xù)緊缺。但由于12英寸已經(jīng)逐漸成為了主流尺寸，半導(dǎo)體設(shè)備廠商也將業(yè)務(wù)重心向12英寸廠傾斜，設(shè)備短缺成為當(dāng)下8英寸廠擴(kuò)產(chǎn)的難點之一。以關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備為例，目前市場上流通的8英寸設(shè)備絕大多數(shù)是二手翻新設(shè)備，具有性能指標(biāo)不高及設(shè)備穩(wěn)定性差等問題。東方晶源洞悉到晶圓代工廠這一痛點，充分發(fā)揮在電子束檢測、量測領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢，積極響應(yīng)，快速推出8英寸關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備，成功解決產(chǎn)業(yè)又一難題，對推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定發(fā)展具有重大意義。

隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點不斷向前推進(jìn)，電子束檢測的重要性愈加凸顯。東方晶源憑借先發(fā)優(yōu)勢以及強大的研發(fā)投入，在電子束檢測、量測領(lǐng)域積累了雄厚的技術(shù)實力，成績斐然。承擔(dān)國家02重大專項——電子束硅片圖形缺陷檢測設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目并驗收通過;首臺套電子束缺陷檢測設(shè)備(EBI)已完成產(chǎn)線驗證并獲得重復(fù)訂單;加速推出多款關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備并取得多個訂單。東方晶源在電子束檢測、量測領(lǐng)域不斷取得重要產(chǎn)品技術(shù)突破，填補多項國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域空白。

目前，東方晶源已經(jīng)和國內(nèi)大部分有市場影響力的晶圓代工企業(yè)建立了合作關(guān)系，得到行業(yè)和客戶的高度認(rèn)可。未來，東方晶源將繼續(xù)堅持以客戶為中心，不斷加強研發(fā)投入，擴(kuò)大在國內(nèi)電子束檢測、量測領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢。同時，與上下游企業(yè)攜手，共同推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈實現(xiàn)全面自主可控，配合國家實現(xiàn)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略布局。

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